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用于AR波導(dǎo)切割的高效率激光加工系統(tǒng)

簡要描述:用于AR波導(dǎo)切割的高效率激光加工系統(tǒng)
3D-Micromac 公司的 microPOLAR 激光微加工系統(tǒng)專為加工高折射率玻璃及其他透明晶體材料而設(shè)計。其的玻璃切割能力使其成為基于晶圓的增強現(xiàn)實(AR)波導(dǎo)分離與單片化處理的理想選擇。該系統(tǒng)高度靈活,并支持現(xiàn)場升級,既適用于研發(fā)用途,也能實現(xiàn)高良率的大規(guī)模量產(chǎn)。

  • 產(chǎn)品型號:microPOLAR
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 產(chǎn)品資料:
  • 更新時間:2026-01-09
  • 訪  問  量: 157

詳細介紹

3D-Micromac 公司的 microPOLAR 激光微加工系統(tǒng)專為加工高折射率玻璃及其他透明晶體材料而設(shè)計。其的玻璃切割能力使其成為基于晶圓的增強現(xiàn)實(AR)波導(dǎo)分離與單片化處理的理想選擇。該系統(tǒng)高度靈活,并支持現(xiàn)場升級,既適用于研發(fā)用途,也能實現(xiàn)高良率的大規(guī)模量產(chǎn)。

 

亮點

•現(xiàn)場升級能力

•單位成本低

•批次尺寸與形狀選擇靈活

•避免邊緣損傷和崩邊

•玻璃單片化后具有高抗彎強度

•占地面積小

 

microPOLAR™ - 系統(tǒng)概述

microPOLAR 激光系統(tǒng)基于專為高通量大規(guī)模生產(chǎn)而設(shè)計的設(shè)備平臺。其模塊化設(shè)計支持現(xiàn)場升級,因此是增強現(xiàn)實(AR)等新興技術(shù)的理想選擇。

 

microPOLAR的激光切割工藝專為切割用于增強現(xiàn)實(AR)設(shè)備的高折射率晶圓而開發(fā)。因此,我們在工藝研發(fā)中特別注重實現(xiàn)抗彎強度。該工藝可有效避免加工過程中的邊緣損傷、崩邊以及顆粒產(chǎn)生。低零件公差只是這一高度專業(yè)化激光切割工藝的眾多優(yōu)勢之一。

 

多種上下料和檢測選配方案的可用性,使該系統(tǒng)能夠作為高效能的生產(chǎn)平臺使用。它可輕松集成到生產(chǎn)線中,并提供機器人或人工上下料等多種操作選項。

 

  microPOLAR M microPOLAR A microPOLAR A2
典型應(yīng)用 用于AR設(shè)備的波導(dǎo)    
生產(chǎn)效率水平

•研究與開發(fā)*

•試生產(chǎn)*

量產(chǎn)*

•量產(chǎn)*

•大規(guī)模生產(chǎn)*

材料

•SCHOTT RealView® (1.7; 1.8; 1.9; 1.9 輕量化)

•HOYA

•CORNING (1.7-2.0 RI)

•其他透明晶體材料 (例如 LiNbO3)

基板尺寸

•裸晶圓: 12“

•貼膜晶圓: 8“

激光加工模塊

•改性

•分離

•改性

•分離

•2X改性

•2X分離

附加模塊

•手動上下料

•質(zhì)量檢測 

•通過 EFEM 輸入

•質(zhì)量檢測

•自動卸載至料盤

•通過 EFEM 輸出

計量

•自動對準

microMMI 軟件

•控制并監(jiān)控所有硬件組件及加工參數(shù)

•多級用戶權(quán)限(管理員、主管、操作員)

•數(shù)據(jù)輸入文件格式:DXF、CSV、Gerber、CLI,其他格式可按需提供

安全

•符合激光1類安全標準的防護外殼,集成控制面板

•全景攝像頭(網(wǎng)絡(luò)攝像頭)

 

 

 

 

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